설비
특징 |
Air 분사방식으로
이물 제거
Air 분사시 기류가 집진
챔버틈새로 노출되어
강한 세정력 필요
Jet Nozzle 장착으로
Dead zone 발생
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진공+Air 방식으로 이물제거
능력향상
Air 분사방향과 집진방향
일치로 세정력 배가
Air 분사 균일도가 우수한
Knife 장착으로 균일한
세정 |
다중 회오리 바람을 이용한
이물 제거로 세정력 극대화
회오리 바람 분사
가능한
노즐 장착
평면은 물론 형상이 불규칙
적인 3D 면 이물제거에
용이
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Brush를 이용한 이물
제거 방식
Brush 세정용 노즐
장착으로 2차오염 확산
방지
세정력 배가형 Design
반영
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