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- Non Contact Type Cleaning System
- 다중 회오리 바람을 이용한 미세 이물 제거에
  적합한 Air Cleaner
- Substrate 형상이 평면은 물론 불규칙적인면의
  이물 제거 가능


- Substrate 기준 다양한 모델 대응
- 고효율의 Air Nozzle 장착
- Easy Operation 실현
- Profile 구조로 compact화 및 미려한 외관
 
구분 일반 Type Tornado Cleaner
Concept도
사용 Nozzle
이물제거 능력 20~50㎛ 이상 5~10㎛ 이상
설비특징 Air 분사방식으로 이물 제거
기류가 집진 챔버 틈새로 노출되어
    강한 집진력 필요
Jet Nozzle 장착으로 Dead zone 발생
다중 회오리 바람을 이용한 이물 제거로
    세정력 극대화
평면은 물론 3D 형상의 이물 제거에사용
Assembly 상태에서 세정가능

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