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제목
Particle 제거기 문의
작성자 최헌규

작성일

2016-09-05

조회

1665
 
내용
 

안녕 하세요.

(주) 에프에스티 최헌규 라고 합니다.

 

저희는 반도체 Photo Mask 보호용 박막을 제조 하여 판매 하고 있습니다.

 

중간 공정 중에 제품에 붙어 있는 이물질을 제거 하고 싶은데

 

Test 가 가능 한지 문의 드립니다.

 

현재 저희 Fab 은 Class 10 으로 운용 되고 있으나 DR ENG 에서의 Fab

 

상태가 어떤지 궁급 합니다.

 

그리고 Demo 장비 Size 도 궁금 하구요. 저희는 1 ㎛ 의 Particle 까지 관리 하나

 

보통은 10 ㎛ 의 Particle 이상 되는 것을 제거 하고 있습니다.

 

담당자분 연락 기다리겠습니다.

 

감사합니다.

 

최헌규 드림


 

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